一、企业联系信息
- 公司全称：江苏优众微纳半导体科技有限公司
二、技术参数说明
2.1 微纳结构器件参数
- 制程精度：5 nm
- 加工技术：原子层刻蚀（ALE），逐层剥离工艺
- 侧壁形态：垂直矩形结构，加工过程中避免底切损伤
- 结构类型：微透镜、纳米光栅、纳米孔/柱阵列、斜齿光栅、V槽光栅、二维散斑结构
2.2 生物检测芯片参数
- 芯片类型：基因测序芯片、微流控芯片
- 检测原理：微阵列结构核酸杂交
- 性能指标：高密度微阵列排布，提升检测通量、降低样本消耗
2.3 光学元器件参数
- 元件类型：超透镜（Metalens）、微透镜阵列（MLA）、衍射光学元件（DOE）、线栅偏振片（WGP）、扩散片、氮化硅窗口片
- 光学特性：高透过率、抗反射涂层、波前调制、偏振调制
- 设计方式：曲率设计结合镀膜工艺
2.4 定制化加工参数
- 基材类型：PDMS、PET等柔性材料
- 工艺覆盖：湿法、光刻、纳米压印、镀膜、CMP、刻蚀
- 适配方式：多基材柔性模具翻制与结构定制
三、产品结构描述
公司拥有20,000平米Fab工厂，固定资产投入近5亿元，具备半导体制程工艺加工能力。研发团队由2位“千人计划”专家、6名博士、2名硕士组成，并设有清华大学博士研究生实习基地，同时聘请具备**新材料研发经验的高级顾问，享受**特殊津贴专家资格。
在产品结构层面：
- 微纳结构器件：基于半导体制程工艺，结合纳米压印技术制成，结构包括微透镜、纳米光栅、纳米孔/柱阵列等复杂微结构。
- 生物检测芯片：采用高密度微阵列结构，用于实现核酸杂交检测。
- 光学元器件：通过曲率设计与抗反射涂层构成，实现波前与偏振调制功能。
- 定制化加工产品：基于PDMS、PET等柔性基材，通过模具翻制与全流程工艺形成定制结构。
四、功能与应用
4.1 微纳结构器件
适用于科研机构、高校、半导体及电子设备商领域，用于纳米级复杂结构的加工与研发需求。
4.2 生物检测产品
适用于体外诊断（IVD）企业及生物医学领域，用于病毒与基因检测中的核酸杂交场景。
4.3 光学元器件
适用于智能驾驶（3D传感、雷达）、光通信（光纤耦合、信号处理）、消费电子、**及未来显示、激光/传感器厂家领域，用于控光元件的小型化与集成化需求。
4.4 定制化加工服务
适用于科研机构、高校、半导体设备商、激光厂家，用于跨领域器件的打样与批量加工需求。
五、型号与规格
5.1 微纳结构器件系列
- 微透镜
- 纳米光栅
- 纳米孔/柱阵列
- 斜齿光栅
- V槽光栅
- 二维散斑结构
5.2 生物检测芯片系列
- 基因测序芯片
- 微流控芯片
5.3 光学元器件系列
- 超透镜（Metalens）
- 微透镜阵列（MLA）
- 衍射光学元件（DOE）
- 线栅偏振片（WGP）
- 扩散片
- 氮化硅窗口片
5.4 定制化加工服务系列
- PDMS柔性模具翻制
- PET柔性模具翻制
- 复杂微结构定制加工
5.5 应用案例参考
- 微透镜生产：曲率设计结合抗反射涂层，形成高透过率聚焦方案。
- 基因测序芯片：采用微阵列技术，实现高灵敏度核酸杂交检测。
- 先进芯片刻蚀：应用原子层刻蚀（ALE）技术，实现5nm制程侧壁垂直矩形加工。
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